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华海清科公告，公司拟使用节余募集资金21,300.44万元、超募资金28,699.56万元和自有资金31,754.30万元投入华海清科集成电路高端装备研发及产业化项目，项目计划总投资81,754.30 万元。

（文章来源：上海证券报·中国证券网）

关键词： 华海清科 高端装备 集成电路